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반도체 장비간 통신을 위한 XML 데이터 구조에 관한 연구
A study of XML data structure for SEMI equipment communication
초록
본 논문은 반도체 장비간 통신 표준 규약인 SECS 를 만족하며 구조화된 데이터를 전송할 수 있는 XML 구조의 데이터 포멧을 정의 제안 한다.
- 제목
- 반도체 장비간 통신을 위한 XML 데이터 구조에 관한 연구
- 제목 (타언어)
- A study of XML data structure for SEMI equipment communication
- 저자
- PARK JAEHYUN
- 학회명
- 2001년도 대한전기전자학회 합동 추계학술대회 논문집