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12인치 웨이퍼 폴리싱 장치의 작동조건에 따른 진동 특성 연구

제목
12인치 웨이퍼 폴리싱 장치의 작동조건에 따른 진동 특성 연구
저자
LEE EUN SANG
학회명
대한기계학회 춘계학술대회 (제주국제컨벤션센터)

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