질화알루미늄 초미립자의 제조를 위한 DC 플라즈마공정 개발

Development of DC Plasma Process for Preparation of AlN fine powders
  • DONG WHA PARK
제목
질화알루미늄 초미립자의 제조를 위한 DC 플라즈마공정 개발
제목 (타언어)
Development of DC Plasma Process for Preparation of AlN fine powders
저자
DONG WHA PARK
학회명
화학공학의 이론과 응용