TiNx을 이용한 2층 무반사, 무정전 박막의 제작

Fabrication of Two-layer Antireflection, Antistatic Films using TiNx Films
  • CHANG KWON HWANGBO

초록

TiNx 박막의 n,k는 전산 시늉과 같이 장파장으로 갈수록 n은 감소, k는 증가하는 경향을 보였고, 이를 토대로 SiO2 박막의 두께를 계산하였다. 제작한 2층 무반사 박막의 반사율은 425-695nm 파장대에서 0.5%미만이었고 최대투과율은 520nm에서 72%였다.

제목
TiNx을 이용한 2층 무반사, 무정전 박막의 제작
제목 (타언어)
Fabrication of Two-layer Antireflection, Antistatic Films using TiNx Films
저자
CHANG KWON HWANGBO
학회명
제17회광학및 양자전자학술발표회 논문집