PECVD 기법에 의해 제조된 나노결정 Si 박막의 광학적 특성

Photo- and electroluminescence of nc-Si:H prepared by PECVD techniques
  • CHO NAMHEE
제목
PECVD 기법에 의해 제조된 나노결정 Si 박막의 광학적 특성
제목 (타언어)
Photo- and electroluminescence of nc-Si:H prepared by PECVD techniques
저자
CHO NAMHEE
학회명
2006년도 한국세라믹학회 추계총회 및 연구발표회