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초록
본 논문에서는 3차원 반도체 공정 시뮬레이션을 위한 비구조형 3차원 메쉬 생성기를 제작하였다. 이동하는 경계 문제를 해결하기 위하여, 분할법을 사용한 메쉬 정련화 및 연결 수준도를 이용한 노드 이동 알고리즘을 개발하여 메쉬 수준도를 향상 시켰다. 또한 메쉬의 반전 방지 및 루프 제거 알고리즘을 개발하여, 3차원 R-LOCOS 시뮬레이션을 수행하였다.
- 제목
- 3차원 반도체 공정 시뮬레이션을 위한 비구조형 3차원 메쉬 생성기의 개발
- 제목 (타언어)
- Development of Three-dimensional Unstructured Delaunay Mesh Generator for the Semiconductor Process Simulation
- 저자
- WON TAEYOUNG
- 학회명
- 제5회 한국반도체학술대회 논문집