B 및 Cs가 이중이온주입된 Si3N4 박막의 전해질 용액 중 이온감지특성에 관한 연구

초록

전해질 용액 주에서 내부 이온확산에 의한 드리프트 특성이 거의 없는 장기안정성과 pH 농도 감지특성이 우수하지만 알칼리 금속 양이온 감지특성이 열악한 silicon nitride 박막의 이온 감지특성을 변화시키기 위하여, 저온화학기상증착법(LPCVD)으로 제작된 silicon nitride 박막에 B 및 Cs가 이중이온주입된 박막의 전해질 용액 중 pH, pNa, pK, pRb 및 pCs 농도감지특성을 조사하여 비교하였다. 이중이온주입된 샘플은 이온주입이 되지 않은 샘플에 비해 그 전해질 용액 중 pH 농도 감지도가 현저히 감소한 반면, 전해질 용액 중 알칼리 금속이온농도 감지도는 이온주입되지 않은 샘플에 비해 현저히 증가하는 특성을 보였다.