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초록
본 논문에서는 INPROS 3차원 반도체 공정 시뮬레이터 시스템에, 이온주입된 불순물의 과도 확산 기능을 첨가한 확산 모듈의 시뮬레이션 결과를 발표한다. 실리콘 내부에 이온 주입된 불순물의 재분포를 시뮬레이션하기 위하여, 3차원 유한요소법 수치 해석기를 개발하여 확산공정을 수행하였다.
- 제목
- 과도 증속 확산(TED)을 고려한 3차원 확산 시뮬레이터 개발
- 제목 (타언어)
- The Development of Three-Dimensional Diffusion Simulator for Transient Enhanced Diffusion
- 저자
- WON TAEYOUNG
- 학회명
- 대한전자공학회 추계종합학술대회 논문집