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초록
인체에 해로운 유해 전자기파와 전자 기기의 오작동을 일으킬 수 있는 근적외선을 차단하는 디스플레이용 전도성 저방출 필터를 다양한 형태로 설계하고 RF마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착하였으며, 증착한 필터들의 광학적, 화학적, 구조적, 및 전기적 특성을 분광광도법, 가변각 분광 타원법, 오제이 전자분광법, X- 선 광전자 분광법, 러더포드 후방 산란법, 주사 전자 현미경법, 그리고 4점 탐침법을 이용하여 비교, 분석하였다.
- 제목
- Ti,TiOx, ITO 보호층을 이용한 디스플레이용 저방출 필터의 증착 및 특성 연구
- 제목 (타언어)
- Deposition and characterization of low-e filters with Ti,TiOx, and ITO protective layers for display applications
- 저자
- CHANG KWON HWANGBO
- 학회명
- 한국광학회 2004년도 동계학술발표회