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플라즈마 중합법에 의한 테트라메칠실란 박막의 유전특성

  • Lee Duck Chool
제목
플라즈마 중합법에 의한 테트라메칠실란 박막의 유전특성
저자
Lee Duck Chool
학회명
대한전기학회지 춘계학술대회

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