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초록
몇 몇 포화배위된 Ti 전구체를 합성하였으며, MOCVD 전구체로 평가하였다. 전구체의 열적분해와 증착거동을 분석하였으며, 결과를 상용화된 전구체인 Ti(MPD)(TMHD)2와 비교하였다. 또한, Ba(METHD)2, Sr(METHD)2와 혼합용액을 만들어 BST 박막증착에 이용하였다.
- 제목
- 새로운 Ti MOCVD 전구체를 이용한 BST 박막 제조
- 제목 (타언어)
- Preparation of BST Films with Novel Titanium Organometallic Complexes
- 저자
- LEE WAN IN
- 학회명
- 대한화학회 제86회 총회 및 학술발표회