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PECVD 기법에 의해 제조된 나노결정 Si 박막의 광학적 특성

영문제목
  • CHO NAMHEE
제목
PECVD 기법에 의해 제조된 나노결정 Si 박막의 광학적 특성
제목 (타언어)
영문제목
저자
CHO NAMHEE
학회명
2005 한국세라믹학회-추계총회 및 연구발표회

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