Optical and physical properties of TiO2 and MgF2 thin films by plasma ion assisted deposition

초록

본 연구에서는 광학박막에서 고굴절률 물질과 저굴절률 물질로 사용되는 와 단층 박막을 플라즈마 이온 보조 증착 방법과 보통 방법으로 각각 증착하고 그 광학적 물리적 특성을 비교하였다. 또한 박막을 증착하는 동안 기판의 온도를 로 가열하여 증착한 박막을 함께 비교하였다.