고진공 반응이온 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 TiO2박막의 광학적, 구조적 특성

초록

최근 광 응용기술, 레이저 및 광통신 기술이 빠르게 발전함에 따라 고부가가치 광학 박막의 규격이 높아지고 있으며, 덩어리와 같은 광학적, 기계적 특성을 갖는 광학박막이 요구되고 있다. 일반적으로 이러한 성능을 만족하는 광학박막을 제작하기 위해 전자빔으로 증발되어 기판에 증착되는 박막에 직접 산소 이온을 이온총을 이용하여 기판에 쏘아줌으로써 양질의 산화박막을 제작하는 이온빔 보조 증착법이 가장많이 적용되고 있다.