반도체용 대구경관의 전해 복합연마에 대한 초정밀 가공 특성 연구

영문제목

초록

반도체용 대구경관의 전해 복합연마에 대한 초정밀 가공 특성 연구, , 이은상, 2004. 10. 22, 한국 정밀공학회, 추계학술대회 논문집 (부산전시컨벤션센터), pp369.

제목
반도체용 대구경관의 전해 복합연마에 대한 초정밀 가공 특성 연구
제목 (타언어)
영문제목
저자
LEE EUN SANG
학회명
한국 정밀공학회, 추계학술대회