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광학소자 복제를 위한 ICP를 이용한 플라즈마 중합반응

Plasma Polymerization using ICP Reactors
  • PARK SEGEUN
제목
광학소자 복제를 위한 ICP를 이용한 플라즈마 중합반응
제목 (타언어)
Plasma Polymerization using ICP Reactors
저자
PARK SEGEUN
학회명
Photonics Conference 2006

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