BTO/ST/LSCO/MgO 에피박막의 제조와 특성

초록

본 연구에서는 Bi4Ti3O12(BTO)/SrTiO3(ST)복층구조의 에피박막을 제작하고 열처리를 이용하여 BTO-ST계 조성 경사층의 형성과 이에 따른 전기물성 변화를 조사하였다. PLD법으로 M?기판 위에 LSCO를 하부전극으로 하여 001 방향의 BTO/ST박막을 제작하였다. 001회절선에 대한 Φ-스캔에서 BTO/ST박막층은 완전한 001배향성을 나타내었다. 박막은 γfilm + γinterface > γsubstrate 일 때 가능한 S-K성장모드로 에피성장하였다. 700℃ 열처리에서 시간이 경과됨에 따라 001 회절선의 강도가 감소하였고, 이를 통해 BTO-ST계에 속하는 조성경사층이 형성됨을 알 수 있었다. BTO/ST 계면에서 형성된 조성경사층은 유전상수와 전류분극의 잔류분극의 증가를 가져왔다.