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- 제목
- Effect of films Thickness on the Nanostructural, Chemical and Mechanical Features Prepared by PECVD
- 제목 (타언어)
- Nc-Si:H 박막 증착시 기판 두께에 따른 나노구조적, 화학적, 기계적 특성 분석
- 저자
- CHO NAMHEE
- 학회명
- 2011년 한국세라믹학회 추계총회 및 연구발표회
- 개최지
- 김대중컨벤션센터
- 학회 개최일
- 2011-10-24 ~ 2011-10-25