Effect of films Thickness on the Nanostructural, Chemical and Mechanical Features Prepared by PECVD

Nc-Si:H 박막 증착시 기판 두께에 따른 나노구조적, 화학적, 기계적 특성 분석
  • CHO NAMHEE
제목
Effect of films Thickness on the Nanostructural, Chemical and Mechanical Features Prepared by PECVD
제목 (타언어)
Nc-Si:H 박막 증착시 기판 두께에 따른 나노구조적, 화학적, 기계적 특성 분석
저자
CHO NAMHEE
학회명
2011년 한국세라믹학회 추계총회 및 연구발표회
개최지
김대중컨벤션센터
학회 개최일
2011-10-24 ~ 2011-10-25