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Remote plasma ashing chamber에서 유동해석 시뮬레이션과 Ashing 공정의 균일도 상관관계

  • PARK SEGEUN
제목
Remote plasma ashing chamber에서 유동해석 시뮬레이션과 Ashing 공정의 균일도 상관관계
저자
PARK SEGEUN
학회명
한국반도체디스플레이기술학회 2012년 추계학술대회
개최지
일산 킨텍스
학회 개최일
2012-10-10 ~ 2012-10-10

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