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축방향 자기장의 주기적 단속을 이용한 유도결합형 플라즈마 식각 장비의 고품위 플라즈마 형성
Periodic Control of Axial Magnetic Field for High Density and Large Area Plasma Etcher
- 제목
- 축방향 자기장의 주기적 단속을 이용한 유도결합형 플라즈마 식각 장비의 고품위 플라즈마 형성
- 제목 (타언어)
- Periodic Control of Axial Magnetic Field for High Density and Large Area Plasma Etcher
- 저자
- O BEOM HOAN
- 학회명
- 전자공학회 학술대회 논문집