Organometallic vapor phase epitaxy에 의해 제조된 GaN 결함구조 분석

Investigation of the structural defects in GaN thin films grown by organometallic vapor phase epitaxy
  • CHO NAMHEE

초록

본 연구에서 제조된 GaN/sapphire heterostructure에서, (0001)GaN//(0001)sapphire; [0110]GaN//[1201]sapphire 기판-박막 방향성 관계가 관찰되었으며, 박막 내 관찰된 전위의 버거스 벡터: b=1/3[2110], 선벡터: n=[0001]이며, 이는 전위의 전파거동에서 {1010}<2110> 슬립시스템이 크게 기여한 것을 의미한다.

제목
Organometallic vapor phase epitaxy에 의해 제조된 GaN 결함구조 분석
제목 (타언어)
Investigation of the structural defects in GaN thin films grown by organometallic vapor phase epitaxy
저자
CHO NAMHEE
학회명
2002 한국세라믹학회 (추계총회 및 연구발표회)