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표면탄성파 필터 제작을 위한 Pt 박막 식각

Etching of Pt Thin Film For SAW Filter Fabrication
  • LEE EL HANG
제목
표면탄성파 필터 제작을 위한 Pt 박막 식각
제목 (타언어)
Etching of Pt Thin Film For SAW Filter Fabrication
저자
LEE EL HANG
학회명
한국전기전자재료학회 2003년도 추계학술대회

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