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Antenna structure를 이용한 MIS(Tan/HfO2/Si) capacitor의 plasma damage 연구

  • PARK SEGEUN
제목
Antenna structure를 이용한 MIS(Tan/HfO2/Si) capacitor의 plasma damage 연구
저자
PARK SEGEUN
학회명
2006년 하계종합 학술대회

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