나노결정질 Ni-W 합금전착의 제조 및 물리적 성질에 관한 연구

초록

나노소재의 제조방법 중 전착법은 제조비용이 다른 방법에 비해 낮을 뿐만 아니라 제조가 용이하여 전착법을 이용한 여러 나노결정질 재료의 제조에 관한 연구가 활발히 진해되고 있다. 이중 Ni-W 합급전착은 우수한 내마모성을 나타내어 기계부품의 표면처리로서 Cr도금을 대체에 관심이 집중되고 있으며, 그리고 높은 고온 안정성으로 전자부품산업에 응용되어 실리콘 기판과 구리배선사이에서 구리의 확산방지를 위한 배이어층으로의 사용에 대해서도 연구가 진행되고 있다. 본 연구에서는 다양한 Ni-W합금전착욕과 전해조건을 이용하여 나노결정질 Ni-W합금전착을 제조에 관한 연구를 수행하였으며, 또한 이들 합금전착층의 물리적 성질에 대하여 검토하였다.