상세 보기
초록
본 연구에서는 고주파 마그네트론 기법을 이용하여 SRSO 박막을 제조하였다. SiO2 타겟과 Si 칩을 이용하여 co-sputtering 기법을 이용하여 박막을 제조하였으며, 증착후 열처리를 공정변수로하여 발광거동을 조사하였다. SiO2 기지 내 분포되어있는 나노결정질 Si의 광학적 구조적 특성은 PL, XRD, HRTEM, XPS, FT-IR을 이용하여 분석하였다.
- 제목
- 고주파 마그네트론 스퍼터 기법을 이용하여 제조된 SRSO 박막의 구조적 광학적 특성
- 제목 (타언어)
- 영문제목
- 저자
- CHO NAMHEE
- 학회명
- 2003년도 한국재료학회 추계학술발표대회