극자외선 노광공정용 이진마스크의 비금속 흡수체 두께 감소를 위한 이층 흡수체 구조 연구

  • CHANG KWON HWANGBO
제목
극자외선 노광공정용 이진마스크의 비금속 흡수체 두께 감소를 위한 이층 흡수체 구조 연구
저자
CHANG KWON HWANGBO
학회명
한국광학회 2012년도 하계학술발표회
개최지
제주, 금호리조트
학회 개최일
2012-08-27 ~ 2012-08-29