ZnO nanowire를 이용한 2D 배열 구조 제작

초록

3D 배열구조의 vertical nanowire integrated nanogenerator(VING)는 저출력, 유연 기판 상 제작에의 부적합함, 나노선의 기계적 강도, 장기 안정성 및 균일한 나노선의 성장을 필요로 하는 문제점을 가지고 있다. 본 연구 에서는 이러한 VING방식의 단점을 보완하여 2D배열 구조의 lateral nanowire integrated nanogenerator(LING)로 고출력 특성, 유연기판 상 제작 적합성 등을 개선하는 방향으로 연구를 하였다. 본 연구의 실험 방법으로는 RF magnetron sputter를 이용하여 AZO Seedlayer를 제작하였으며, 제작된 AZO Seedlayer를 photolithography 공정으로 제작하였다. 패터닝된 샘플을 Hydro thermal synthesis method로 성장시켰다. 구조적 분석으로는 XRD, FE-SEM 등을 이용하여 특성을 평가하였다.