Electrical properties of the transparent conducting oxide layers of Al-doped ZnO and WO3 prepared by rf sputtering process

제목
Electrical properties of the transparent conducting oxide layers of Al-doped ZnO and WO3 prepared by rf sputtering process
저자
PAIKKYUN SHIN
학회명
제46회 한국진공학회 동계정기학술대회
개최지
휘닉스파크(강원도 평창)
학회 개최일
2014-02-10 ~ 2014-02-12