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PECVD 기법에 의해 제조된 nc-Si:H 박막의 나노구조 및 물성에 AC Bias가 미치는 영향

  • CHO NAMHEE
제목
PECVD 기법에 의해 제조된 nc-Si:H 박막의 나노구조 및 물성에 AC Bias가 미치는 영향
저자
CHO NAMHEE
학회명
2012년 한국세라믹학회 추계연구발표회
학회 개최일
2012-10-18 ~ 2012-10-19

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