Screen Printing법에 의한 Y3-xCaxFe5-xZrxO12후막의 제조 및 특성

초록

YIG계 ferrite는 고주파에서 손실이 매우작은 재료로서 resonator, osillator, circullator등의 마이크로파용 소자에 널리 이용되고 있다. 최근 전자 통신분야의 발달과 더불어 마이크로용 소자의 소형화, 경량화를 위하여 박막 또는 후막화가 이루어지고 있는 추세이다. YIG박막에 관한 연구는 활발히 진행되어 왔으나 후막에 관한 연구가 부족한 실정이다. 본 연구에서는 screen printing 법에 의한 YIG 후막의 제조공정을 확립하고 Ca과 Zr을 치환시킨 YIG 후막의 자기적 특성 및 마이크로파 특성에 관하여 고찰하였다.