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초록
최근 반도체 산업이 급속히 발전함에 따라 시스템의 성능향상이 필연적이며 그 핵심 부품인 트랜지스터의 고집적화,초고속화 및 초절전화가 요구되고 있다. ............................. .............................................................................................................................................................................
- 제목
- Remote plasma 를 이용한 TiO2 박막의 증착
- 제목 (타언어)
- The characteristics of TiO2 thin films deposited by remote plasma
- 저자
- DONG WHA PARK
- 학회명
- Theories and Applications of Chemical Engineering