전극효과를 고려한 마이크로 3축 링 자이로스코프의 동역학

Dynamics of a Micro Three-Axis Ring Gyroscope Considering Electrodes Effects
  • KIM CHANGBOO

초록

본 논문에서는 3개의 직각 축 방향 각속도를 측정할 수 있는 마이크로 가공된 진동형 실리콘 링 자이로스코프의 전기-기계적 동특성을 해석하고 제시하였다.

제목
전극효과를 고려한 마이크로 3축 링 자이로스코프의 동역학
제목 (타언어)
Dynamics of a Micro Three-Axis Ring Gyroscope Considering Electrodes Effects
저자
KIM CHANGBOO
학회명
한국소음진동공학회 2003년도 추계학술대회