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조리개가 있는 근접장 홀로그래픽 리소그래피 시스템을 이용한 도파로 격자의 duty ratio의 조절
The control of duty ratio in waveguide grating with a variable aperture Near-Field Holographic (NFH) lithography system
- 제목
- 조리개가 있는 근접장 홀로그래픽 리소그래피 시스템을 이용한 도파로 격자의 duty ratio의 조절
- 제목 (타언어)
- The control of duty ratio in waveguide grating with a variable aperture Near-Field Holographic (NFH) lithography system
- 저자
- O BEOM HOAN
- 학회명
- Photonics Conference 2007