투과형 전자현미경을 이용한 0.1㎛ 폴리스티렌구의 크기 측정

초록

일반적인 투과형 전자현미경(TEM)을 사용한 폴리스티렌구의 측정에서는 가속전압과 전자빔의 세기, 노출시간에 따라 크기가 축소된다. 본 연구에서는 0.3㎛ 표준입자와의 크기를 통하여 입자의 크기변화에 따른 측정오차를 최소함으로써, TEM을 이용한 0.1㎛ 표준입자 측정기술을 확립하였다. 측정한 표준입자는 JSR사의 SC-011-S을 측정하여 평균지름이 0.110±0.0028㎛인 결과를 얻었으며, 이는 다른 방법을 사용한 미, 일 표준기관의 측정결과와 일치한다.