Sol-gel 방법을 이용한 유기물-무기물 혼합 실리카 AWG의 제작

초록

유기 금속화합물을 출발물질(precursor)로 이용하는 졸-겔 방법으로 균열이 없는 유기-무기 복합 실리카 박막을 제작하였으며, 조성비, prebake, post bake 온도 등의 제작조건에 따른 박막의 굴절률 변화를 체계적으로 조사하여 재현성 있는 제작조건을 확립하였다. 또한, 이 졸-겔 방법으로 배열도파로(Arrayed Waveguide Grating) 소자를 제작하였다. 제작된 배열 도파로 소자는 박막 두께를 1.6 um로 하였으며, 도파로폭을 각각 2.8 um로 하였다. 그리고 채널 간격은 1.6 nm, 자유 전파영역의 반경(Rowland Circle)은 1817.14 um 로 설계되었고, 소자의 성능을 평가하기 위하여 Optical Spectrum Analyzer를 이용하여 배열 도파로 각 채널별 파장출력 특성, crosstalk 등을 살펴보았다.