Formation of high thermal endurance Ni based silicide with low contact resistance

제목
Formation of high thermal endurance Ni based silicide with low contact resistance
저자
RINO CHOI
학회명
제23회 한국반도체학술대회
개최지
강원도 하이원 리조트
학회 개최일
2016-02-22 ~ 2016-02-24