Novolak 계열과 Epoxy 계열의 고분자를 이용한 새로운 multi layer 패턴 형성 방법

  • PARK SEGEUN
제목
Novolak 계열과 Epoxy 계열의 고분자를 이용한 새로운 multi layer 패턴 형성 방법
저자
PARK SEGEUN
학회명
2006년 하계종합학술대회