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대면적 기판용 2X2 Helical Resonator 플라즈마 소스에 관한 연구

  • PARK SEGEUN
제목
대면적 기판용 2X2 Helical Resonator 플라즈마 소스에 관한 연구
저자
PARK SEGEUN
학회명
한국물리학회

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