ScholarWorks@인하대학교

상세 보기

반도체 스테이지용 복합모드 MR마운트의 성능평가

  • CHOISEUNG BOK
제목
반도체 스테이지용 복합모드 MR마운트의 성능평가
저자
CHOISEUNG BOK
학회명
한국소음진동공학회 2016년도 추계학술대회
학회 개최일
2016-10-19 ~ 2016-10-21

ScholarWorks@인하대학교

22212 인천광역시 미추홀구 인하로 100 정석학술정보관 Tel. 032-860-9003

COPYRIGHT © 인하대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.