레이저에 의한 실리콘 표면의 습윤성 향상과 구리 패터닝

초록

이 논문에서는 실리콘의 습윤성과 접착성 향상을 위해 레이저를 이용한 실리콘 표면 특성 변화를 연구하였다. Nd;YAG 레이저를 사용하여 표면처리를 함으로써 실리콘 표면의 습윤성과 접착성을 높였다. 습윤 측정 실험에서 레이저 표면 처리된 실리콘의 표면은 표면 에너지가 변했음을 알 수 있고, 레이저 표면처리 후 실리콘의 습윤성 향상은 접촉각의 감소와 표면 산소 함유량 증가로 알 수 있었다. 이 표면처리 된 실리콘에 아르곤 이온 레이저로 구리 전구체를 사용한 레이저 직접 쓰기를 했다. 실리콘의 표면 향상과 화학적 결함상태는 EDX, SEM을 사용하였고, 증착된 구리 단면과 선폭은 surface profiler로 측정하였다.