에어-브리지 분리 구조를 갖는 AlGaAs/GaAs HBT의 모델링

Modeling of an AlGaAs/Ga/As HBT with an Air-bridge Isolation Structure
  • WON TAEYOUNG

초록

본 논문에서는 RF 부품의 핵심 소자인 HBT의 고주파 특성에 크게 영향을 미치는 요소들을 분석하고, 기생 성분은 감소시키고 고주파 동작 특성은 향상시킬 수 있는 HBT의 설계 및 제조 공정 기술을 제시하고자 하였다.

제목
에어-브리지 분리 구조를 갖는 AlGaAs/GaAs HBT의 모델링
제목 (타언어)
Modeling of an AlGaAs/Ga/As HBT with an Air-bridge Isolation Structure
저자
WON TAEYOUNG
학회명
제5회 한국반도체학술대회 논문집