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엠보싱용 실리콘 마스터 제작을 위한 Cl2 가스 기반의 건식 식각

Cl2 based dry etching for fabrication of silicon master for embossing
  • LEE EL HANG
제목
엠보싱용 실리콘 마스터 제작을 위한 Cl2 가스 기반의 건식 식각
제목 (타언어)
Cl2 based dry etching for fabrication of silicon master for embossing
저자
LEE EL HANG
학회명
COOC 2007

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