광폭 노즐을 사용한 저온분사 공정시 분사 기판면에서의 입자속도분포 예측

  • JEONG WHAN HAN
제목
광폭 노즐을 사용한 저온분사 공정시 분사 기판면에서의 입자속도분포 예측
저자
JEONG WHAN HAN
학회명
2010년도 한국재료학회