Evaluation of Tailored Perovskite Electrode for (Ba,Sr)TiO3

초록

페로브스카이트 구조의 하부전극을 도입하여 하부전극의 조성과 미세구조에 따른 BST의 전기적 특성이 연구되었다. SCR전극위에 증착된 BST는 RuO2보다 약 10배 정도 낮은 10-7A/cm2 의 값을 나타내었다. BST의 누설전류는 SCR전극의 조성에는 큰 영향을 받지 않은 반면 유전상수의 경우에는 SCR내의 Sr/Ca 비에 따라 160에서 280 까지 변화 하였다. BST와 SCR사이의 계면층 두께는 전극으로 Pt를 사용하였을 경우보다 약 절반 정도 작은 5nm이었다. 게다가 계면층이 HRTEM으로 얻어진 격자형상으로부터 국부적으로 결정화되어있다는 것을 확인하였다.