ScholarWorks@인하대학교

상세 보기

반도체 산업용 부품의 전기화학 표면 연마 가공특성에 관한 연구

제목
반도체 산업용 부품의 전기화학 표면 연마 가공특성에 관한 연구
저자
LEE EUN SANG
학회명
한국기계가공학회 추계학술대회
학회 개최일
2021-12-01 ~ 2021-12-03

ScholarWorks@인하대학교

22212 인천광역시 미추홀구 인하로 100 정석학술정보관 Tel. 032-860-9003

COPYRIGHT © 인하대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.