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홀로우캐소드플라즈마의 듀얼챔버에 대한 중성입자 유동해석

Neutral Particle Flow Analysis of Hollow Cathode Plasma Dual Chamber
  • PARK SEGEUN
제목
홀로우캐소드플라즈마의 듀얼챔버에 대한 중성입자 유동해석
제목 (타언어)
Neutral Particle Flow Analysis of Hollow Cathode Plasma Dual Chamber
저자
PARK SEGEUN
학회명
2011년도 대한전자공학회 정기총회 및 추계학술대회
개최지
KAIST
학회 개최일
2011-11-26 ~ 2011-11-26

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