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초록
본 연구에서 제조된 nc-Si 박막은 가시광 파장 영역에서 발광현상을 보였다. 스퍼터 전력의 증가 및 증착후 열처리 공정에 의하여 PL 피크의 세기는 증가하였으며, 열처리 공정에 의한 결정립 크기의 증가 및 응집현상으로 인해 녹색광 파장영역에서 작은 피크가 관찰되었다. 이것은 결정립의 응집으로 인해 형성된 결정의 표면 혹은 결정간의 계면 상태에 의한 것으로 여겨진다.
- 제목
- RF 마그네트론 스퍼터 기법에 의해 제조된 nc-Si의 나노구조 및 광학적 특성
- 제목 (타언어)
- Investigation of the nano-structural and optical features of nc-Si films grown by rf magnetron sputter techniques
- 저자
- CHO NAMHEE
- 학회명
- 2002 한국세라믹학회 (추계총회 및 연구발표회)