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초록
Ta(OEt)5 및 Nb(OEt)5에 있어서 ethoxide group을 N-alkoxy-b-ketoiminate ligand로 부분적으로 치환하였다. 이 착물들은 기하학적으로 팔면체 구조를 갖으며, 수분에 비교적 강하고 휘발성이 우수하다. 이 착물의 구조와 열분해과정을 분석하였으며, MOCVD 전구체로서의 특성을 평가하였다.
- 제목
- 새로운 N-alkoxy-b-ketoimimate계 착물의 합성 및 분석
- 제목 (타언어)
- Syntheses and characterization of new N-alkoxy-b-ketoiminate complexes of Niobium and tantalum
- 저자
- LEE WAN IN
- 학회명
- 대한화학회 제85회 총회 및 학술발표회