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초록
초음파 여기 페라이트 플레이팅(ultrasound-enhanced ferrite plating)법으로 마그네타이트(Fe3O4) 박막을 제조하고, 성막조건이 박막의 표면상태와 미세구조 및 자기특성에 미치는 영향을 규명하였다. 또한, Fe3O4 박막을 공기중 200∼350℃에서 산화시켜 마그헤마이트(γ-Fe2O3) 박막으로 상전이 시키고, 산화온도가 박막의 CO 가스에 대한 검지감도 특성에 미치는 영향을 검토하였다. 성막조건을 조절하여 박막의 두께를 제어할 수 있었고 표면이 치밀한 양질의 박막을 얻을 수 있었으며, CO 가스센서로의 응용 가능성을 확인할 수 있었다.
- 제목
- 초음파 여기 페라이트 플레이팅법에 의한 마그네타이트 박막의 제조 및 특성
- 제목 (타언어)
- Preparation and Characteristics of Magnetite Thin Films by Ultrasound-Enhanced Ferrite Plating
- 저자
- OH JAE-HEE
- 학회명
- 한국세라믹학회 추계 학술연구발표회 초록집