진공증착법을 이용한 최적의 압전성 유기 박막의 제조와 스위치 특성에 관한 연구

초록

본 논문의 목적은 진공증착법을 이용하여 최적의 압전성 PVDF 유기 박막을 제조하고 그들의 스위치 특성을 검토하는데 있다. 먼저 최적의 압전성 유기 박막의 제조를 위하여 기판의 온도를 변화시켜 결정화도를 증가시킴으로써 압전 특성 향상 효과를 기대하였으며, 또한 이때 각각의 제조 조건으로 제조한 시편의 압전 특성을 위하여 d33 계수와 압전 전하 계수 g33를 이론적으로 산출하였다. 제조된 시편의 응용을 위하여 스위치 회로를 형성시켜 압전 전압 특성을 검토함으로써 향후 PVDF 유기 박막을 이용한 센서 회로 설계에 기초적 자료로 활용하려고 한다.